上海TG反波胆于1996年成立，2007年深圳A股上市。。。济南 、、、广州 、、、南京 、、、重庆分公司相继设立，子公司浙江汉声 、、、上？旅 、、、香港TG反波胆 、、、越南TG反波胆 、、、韩国TG反波胆 、、、浙江柯茂陆续建设。。。这一切体现了TG反波胆人25年来用汗水辛勤耕作的效果。。。
跨越25年的历史，开启全球性企业新未来
用途： Etch 、、、Implant 、、、HDP-CVD 、、、SACVD 、、、MOCVD 、、、LPCVD 、、、ALD
特點：
iPH系列螺杆真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優良的性能，適用于嚴苛制程
它優良的性能源自於最短的轉子排氣路徑和優越的轉子型線設計
漢鐘獨特型線設計，上 、、、臺灣製造
較之前的版本節能25%，设置有省電模式
帶有加熱系統阻止制程物沉積
優化的尺寸，隨插即用
產品樣本和技術手冊
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